CCI HD 非接触式光学 3D 轮廓仪

测量性能上，CCI HD 针对不同厚度涂层展现出优异的适应性：

厚膜测量：可精准分析厚度达约 1.5 微米的半透明涂料，广泛应用于相关材料的研发与生产检测。需注意的是，实际测量的厚度上限会受材料折射率及标的物数值孔径（NA）影响，需根据具体检测对象进行参数适配。

薄膜测量：突破了薄涂层测量的技术难点，借助的干涉测量法，能够对厚度低至 50 纳米的薄膜涂层进行稳定测量（测量下限同样与材料折射率相关）。更值得关注的是，通过这一新型测量方法，可在单次测量流程中同步获取膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷及薄涂层表面剥离等关键特性参数，大幅提升检测效率与数据完整性，为薄膜材料的质量控制与性能研究提供全面数据支撑。