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更新时间:2025-09-01
浏览次数:512CCI HD 非接触式光学 3D 轮廓仪
测量性能上,CCI HD 针对不同厚度涂层展现出优异的适应性:
厚膜测量:可精准分析厚度达约 1.5 微米的半透明涂料,广泛应用于相关材料的研发与生产检测。需注意的是,实际测量的厚度上限会受材料折射率及标的物数值孔径(NA)影响,需根据具体检测对象进行参数适配。
薄膜测量:突破了薄涂层测量的技术难点,借助的干涉测量法,能够对厚度低至 50 纳米的薄膜涂层进行稳定测量(测量下限同样与材料折射率相关)。更值得关注的是,通过这一新型测量方法,可在单次测量流程中同步获取膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷及薄涂层表面剥离等关键特性参数,大幅提升检测效率与数据完整性,为薄膜材料的质量控制与性能研究提供全面数据支撑。
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