费希尔X射线测厚仪 XULM240 产品信息

更新时间：2026-03-04

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菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心特点

高精度测量：

配备比例接收器，能实现高计数率，进而进行高精度测量。

测量厚度精度高，当Au厚度大于0.1μm时，有标准片校准情况下精度<±5%，无标准片校准情况下精度<±10%。

最小测量点大小约0.09x0.09mm，适合测量微小区域。

多功能测量：

支持单性金属镀层厚度、合金镀层厚度、双镀层厚度、双镀层（其中一层是合金）厚度、三镀层厚度等多种测量模式。

可同时测定最多5种不同元素，分析多达四种金属成分的合金。

微聚焦X射线管：

配备微聚焦X射线管以及可电动切换的视准器和基本滤片，更适合对微小型工件进行测量。

焦点尺寸≤50μm，能精准测量半导体芯片金线镀层、精密传感器电极等微型结构。

智能化软件：

搭载WinFTM®软件，能预设测量程序（最多100组），进行数据统计分析并生成报告，满足ISO 9001等质量管理体系要求。

支持薄膜FP法和块体FP法软件，可分析含铅合金、多层镀层（如Ni/Cu/Au）等复杂结构。

便捷操作与观察：

内置500万像素彩色视频显微镜，支持38x-184x光学变焦，可实时观察样品表面细节并标记测量区域，定位精度达±0.005mm。

射线方向从下至上，样品放置快速简便；底部C型开槽的大容量测量舱，方便容纳更多样品。

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