高精度测量：在测量精度方面，MPO 表现。在 0 - 50μm 测量范围内，误差控制在 ±1μm；50 - 1000μm 时，误差≤±2%；1000 - 2000μm 区间，误差≤±3%。重复精度在 0 - 100μm 为 ±0.5μm，＞100μm 时为 ±0.5%。如此高精度的测量性能，能够满足众多对涂层厚度精度要求严苛的行业需求。

小尺寸测量能力：最小测量面直径可达 Φ4mm（在允许误差 < 10% 时，为 Φ2mm），最小测量曲率在精度范围内，铁基为 ρ35mm，非铁基为 ρ50mm；在允许误差 < 10% 时，铁基可低至 ρ10mm，非铁基为 ρ2mm。这使得 MPO 能够对一些具有复杂形状和小尺寸的工件进行精确测量，扩大了其应用范围。

薄基体测量适应性：对于薄基体材料，MPO 同样具备良好的测量能力。在铁基材料上，可测量的最薄基体厚度为 0.2mm（误差小于 10% 时）；非铁基材料为 90μm（误差小于 10% 时）。这一特性使其在处理一些特殊材料或对基体厚度有严格要求的测量任务中具有明显优势。