菲希尔X射线测厚仪 XDL240 是一款德国菲希尔公司生产的 x 射线荧光测厚仪，以下从其测量原理、硬件性能、软件与数据处理、应用领域等方面进行介绍：
 

　　测量原理：运用 X 射线荧光光谱法，通过测量样品受激发后发出的 X 射线荧光强度和能量，来确定镀层的厚度和成分。该方法采用无损检测方式，具备自动聚焦功能，可保障样品完整性与测量准确性2。
 

　　硬件性能2
 

　　移动平台：配备动 X/Y 平台，移动范围≥95x150mm，可用工作台面≥420x450mm，能满足多样品放置与测量需求；当保护门开启时，工作台会自动移到放置样品的位置，方便操作。
 

　　电动 Z 轴：电动 Z 轴支持手动 / 自动聚焦，移动范围≥140mm，可适配不同高度的样品，确保测量时样品处于最佳位置。
 

　　DCM 技术：采用测量距离补偿法(DCM)，可实现 80mm 深度的腔体样品远距离对焦测量，有效解决了深腔样品测量难题。
 

　　高压调节：可变高压支持 30KV、40KV、50KV 三档调节，可根据不同的测试样品和场景，灵活选择合适的高压，以获得最佳的测量结果。
 

　　准直器：标配 φ0.3 的圆形准直器，可提升测量精度，同时还有 φ0.1mm、φ0.2mm 及长方形 0.3mmx0.05mm 等多种准直器可供选择，满足不同测量需求。
 

　　X 射线探测器：采用比例接收器，能够稳定接收信号，确保测量数据的准确性和可靠性。
 

　　摄像头：内置高分辨率 CCD 摄像头，放大倍数 40-160 倍，便于样品观察定位，沿初级 X 射线光束方向观察测量位置；配备手动聚焦、十字线(带有经过校准的刻度和测量点尺寸)以及可调节亮度的 LED 照明，还有激光光点用于准确定位样品，方便操作人员快速、准确地放置和定位样品。