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费希尔X 射线荧光法的精准应用信息

更新时间:2025-10-24      浏览次数:418

X 射线荧光法的精准应用

费希尔 X 射线测厚仪基于X 射线荧光(XRF)原理实现无损测量,核心逻辑可概括为 "激发 - 探测 - 分析" 三步:

射线激发:设备内置微焦点 X 射线管(多采用钨阳极)发射初级 X 射线,穿透被测材料表层;

荧光产生:材料原子吸收能量后释放特征荧光射线,其能量与元素种类对应,强度与厚度正相关;

信号解析:通过比例计数管、硅 PIN 二极管或硅漂移探测器(SDD)捕捉荧光信号,经数字脉冲处理器(DPP+)转化为电信号,最终由软件计算厚度值。

这一技术可实现0.01μm 级精度测量,且支持真空与空气两种测量环境,能适应最高 400℃的样品温度。

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